工作原理

等離子體產(chǎn)生：通過在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場，并利用真空泵實現(xiàn)一定的真空度。隨著氣體愈來愈稀薄，受電場作用，氣體分子或離子發(fā)生碰撞而形成等離子體。

表面處理機制：等離子體中的活性粒子具有較高能量，如離子、電子、活性基團等，它們與材料表面發(fā)生相互作用?？梢酝ㄟ^物理轟擊作用，去除表面的污染物、氧化物等；也能通過化學反應(yīng)，在表面引入新的官能團，從而改變材料表面的物理化學性質(zhì)，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕、涂層等功能。

結(jié)構(gòu)組成

控制單元：包括電源部分，主要電源頻率有 40KHz、13.56MHz、2.45GHz 等，其中 13.56MHz 通常需要電源匹配器；系統(tǒng)控制單元則有按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC 控制（液晶觸摸屏控制）等方式。

真空腔體：主要有不銹鋼真空腔體和石英腔體兩種材質(zhì)，用于容納待處理樣品和等離子體，為處理過程提供真空環(huán)境。

真空泵：分為干泵和油泵，用于抽取真空腔體內(nèi)的空氣，維持所需的真空度，以保證等離子體的產(chǎn)生和穩(wěn)定運行。

特點優(yōu)勢

高效環(huán)保：清洗過程無需使用有機溶劑，不會產(chǎn)生有害污染物，屬于綠色清洗方法；且處理速度快，幾分鐘內(nèi)即可完成整個清洗工藝流程，可提高生產(chǎn)效率。

處理效果好：等離子體的方向性不強，能深入到物體的微細孔眼和凹陷內(nèi)部完成清洗和處理任務(wù)，對難清洗部位的處理效果良好；同時可以在不損傷材料基體的前提下，有效改善材料表面的性能。

適用范圍廣：不分處理對象的基材類型，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物、高分子材料等各種材質(zhì)都能進行處理，并且可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗或處理。

精確控制：容易采用數(shù)控技術(shù)，自動化程度高，具有高精度的控制裝置，時間控制精度高，能夠精確控制處理過程中的各種參數(shù)，如處理時間、功率、氣體流量等，保證處理效果的一致性和穩(wěn)定性。

應(yīng)用領(lǐng)域

汽車行業(yè)：用于點火線圈骨架的表面處理，去除油污并提高與環(huán)氧樹脂的粘合強度；處理發(fā)動機油封片，增強聚四氟乙烯與金屬之間的粘接性能；還可對儀表板、控制面板、汽車門窗密封件等進行處理，改善涂覆和粘接效果。

電子行業(yè)：對硬盤塑料件進行處理，清潔表面油污并增加表面活性，提高硬盤部件的粘接效果；處理耳機聽筒的振膜，提高振膜與線圈、殼體之間的粘接強度，改善耳機的音效和使用壽命；也可用于手機外殼的表面處理，增強表面的附著力，提高涂層的牢固度。

橡塑行業(yè)：對聚丙烯、聚四氟乙烯等橡膠塑料材料進行表面處理，在材料表面形成活性層，使其能夠更好地進行印刷、粘合、涂覆等操作。

醫(yī)療器械行業(yè)：用于醫(yī)療器械的表面處理，如清洗、消毒、改性等，可去除表面的污染物和細菌，提高表面的生物相容性，改善醫(yī)療器械與人體組織的接觸性能。

紡織行業(yè)：處理紡織品表面，提升其染色性能和涂層性能，使染料更好地附著在織物表面，提高涂層的牢固度和耐久性。